Communication Dans Un Congrès
Année : 2005
Katell Kervella : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00775898
Soumis le : lundi 14 janvier 2013-16:42:55
Dernière modification le : lundi 7 août 2023-15:22:07
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00775898 , version 1
Citer
Olivier de Sagazan, Matthieu Denoual, P. Guil, D. Gaudin, Bruno Le Pioufle, et al.. Horizontal buried channels in monocrystalline silicon. Conf. Proc. of DTIP of MOEMS & MEMS 2005, May 2005, Montreux, Switzerland. pp.351-354. ⟨hal-00775898⟩
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