Development of a Quartz-MEMS Resonator - ONERA - Office national d'études et de recherches aérospatiales Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2023

Development of a Quartz-MEMS Resonator

Résumé

This paper presents a miniaturized high Q-factor Thickness Shear Mode Resonator (TSMR), manufacture collectively thanks to the Deep Reactive Ion Etching (DRIE) of quartz crystal wafers. The intrinsic qualities of quartz (i.e. high Q factor, low temperature sensitivity and piezoelectricity) and the advantages of DRIE allowed to fabricate resonators of small dimensions and collectively manufactured. Samples vibrating at frequency f of 88 MHz have shown promising results which lead to quality factor and resonance frequency products (Q.f) near the theoretical limit for quartz of 3.2×10 13 Hz [1].
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Année Mois Jours
Avant la publication
jeudi 10 octobre 2024
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jeudi 10 octobre 2024
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Dates et versions

hal-04622280 , version 1 (24-06-2024)

Identifiants

  • HAL Id : hal-04622280 , version 1

Citer

Baptiste Fischer-Kaszuba, Pierre Lavenus, Raphaël Levy, Paul Chapellier, Thomas Baron, et al.. Development of a Quartz-MEMS Resonator. 2023 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium, Jun 2024, Toyama, Japan. ⟨hal-04622280⟩
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